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洁净室介绍—洁净室的结构与洁净等级
发布时间:2024-04-24 15:12     浏览次数:1116

洁净室(Clean Room),也可以称为无尘室,是指将一定空间范围内的空气中的灰尘微粒、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内的洁净度、压力、温度、湿度、气流(速度、分布)、噪音、照度、静电进行控制,甚至光源的波长都需要在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。


洁净室目前在电子信息产业、光电产业、精密制造、医药卫生、生物工程、航天航空等众多行业均有应用。根据行业的特点与制程要求,无尘室规格会针对行业特定有所不同。在工业领域应用的工业洁净室主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染。内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)、LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

另外,按照根据洁净室内气流的方向的不同,还能够将其分为乱流式层流式复合式


乱流式

气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。换气次数决定净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。

层流式

空气气流运动成均匀之直线形。层流无尘式靠层流式气流将脏空气置换,此型式适用于洁净等级需定较高之环境使用,一般其等级为Class 1~100。其型式可分为两种。

水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在气流下游侧污染较严重。

垂直层流式:空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在工艺或者工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。


混合式

将乱流式和层流式复合或并用,能为不同区域提供不同要求的空气。在运输通道中,提高HEPA或者ULPA过滤器的覆盖率能够将该区域的洁净度等级提高至10级以上;在并装局部无尘室,使用隔间墙、Divider等将区域隔开,在要求高的区域,提高HEPA或ULPA覆盖率,并采用不混乱的回风方式,能达到较高的洁净度。



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